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SURAGUS EddyCus® TF lab 2020 薄膜面电阻和厚度测试仪(方阻测试仪)


 

 

 

 

TF lab系列产品是一款适合实验室研发或成品检测使用的薄膜面电阻(方块电阻)及薄膜厚度测量的仪器。

技术特点

非接触与实时测量
精确的单点测量
依据多层系统的表征要求
由一个易于操作的软件所引导的手工电阻分布图

参数

面电阻(方块电阻)(欧姆/平方)
金属层厚度(nm、μm)
金属基板厚度(μm)
各向异性
缺陷检测
完整性评定

应用

建筑玻璃(LowE)
触摸屏和平板显示器
OLED和LED应用
智能玻璃的应用
透明防静电铝箔
光伏
半导体
除冰和加热应用
电池和燃料电池
包装材料

材料

金属薄膜和栅格
导电氧化物
纳米线膜
石墨烯、CNT(碳纳米管)、石墨
打印薄膜
导电聚合物(PEDOT:PSS)
成版人黄瓜视频APP 其他导电薄膜及材料

规格参数

面电阻(方块电阻)测量技术 非接触式涡流传感器
基板 例如:箔片、玻璃、晶圆,等等
基板面积 8 inch/ 204 x 204 mm (三面是开放的)
最大样品厚度/传感器间隙 1 / 2 / 5 / 10 / 25 mm(由最厚的样本确定)

薄膜面阻的范围

低  0.0001 - 10 Ohm / sq; 1 至 5 % 精度
标准 0.01 - 1,000 Ohm / sq; 1 至 5 % 精度
高  10 - 100,000 Ohm / sq; 2 至 8 % 精度
金属膜的厚度测量 (例如:铜):2 nm - 2 mm (与薄膜电阻一致)
装置尺寸(宽/厚/深) 290 x 140 x 445 mm / 11.4 x 17.5 x 5.5 inch
重量 10 kg
可用特色 薄膜面阻测量/金属厚度测试仪