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SURAGUS EddyCus® TF 在线式薄膜面电阻和厚度测试仪(方阻测试仪)


 

 

 

 

 

 

TF 系列产品是一款适合实验室研发或成品检测使用的在线薄膜面电阻(方块电阻)及薄膜厚度测量的仪器。

技术特点

非接触与实时测量
精确测量
高度可变性和灵活性
在真空内-和真空外的解决方案
固定传感器和穿越式解决方案
单线和多线解决方案
高达每秒1000次的高采样率

参数

面电阻(方块电阻)(欧姆/平方)
金属层厚度(nm、μm)
金属基板厚度(μm)
各向异性
缺陷
成版人黄瓜视频APP 完整性评定

应用

建筑玻璃(LowE)
触摸屏和平板显示器
OLED和LED应用
智能玻璃的应用
透明防静电铝箔
光伏
半导体
除冰和加热应用
电池和燃料电池
包装材料

材料

金属薄膜和栅格
导电氧化物
纳米线膜
石墨烯、CNT(碳纳米管)、石墨
打印薄膜
导电聚合物(PEDOT:PSS)
成版人黄瓜视频APP 其他导电薄膜及材料

规格参数

面电阻(方块电阻)测量技术 非接触式涡流传感器
基板 例如:箔片、玻璃、晶圆,等等
测量间隙尺寸 5 / 10 / 15 / 25 / 50 / 75 mm
传感器对数 / 监控线数 1 - 99
传感器尺寸 (W x L x H) M 型传感器:80 x 100 x 66 mm
S 型传感器:34 x 48 x 117 mm
导电层 金属/ TCOs/ CNTs/ 纳米线/ 石墨烯/ 栅格/ PEDOT/其它

薄膜面阻的范围

低   0.0001 - 10 Ohm / sq; 2 至 7 % 精确度
标准  1 - 1,000 Ohm / sq; 2 至 7 % 精确度
高   10 - 10,000 Ohm / sq; 3 至 8 % 精确度
金属膜的厚度测量(例如:铝、银、钼、银浆) 2 nm - 2 mm (与薄膜电阻一致)
其它集成的测量 金属厚度/光透明性/密度/电性各向异性
环境 在真空外/在真空内 @ T < 60°C / 140°F (根据要求 <90°C / 194°F)
采样率 1 / 10 / 50 / 100 / 1,000 次测量每秒
硬件触发 5, 12, 24 V
界面 UDP、.Net libraries、TCP、Modbus、模拟/数字